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洁净室内气流流型及分布情况
缩放字号:[小] [大] 发布时间:2015-06-15 14:31

  无尘洁净室整体设计都是各个生产商相对关注的问题,如果控制好洁净室的污染源,可以相对提升洁净室的洁净度,对有关规范很多人提出了质疑,因为FFU在应用过程中会出现很多噪音,随着FFU的不断改进,对是否采用FFU回风系统也是个热点:悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来,受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。

洁净室

洁净室

  千级无尘车间内一定洁净度下气流速度的确定,随洁净室用途等具体情况而异,它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响,就工业洁净室而言,影响洁净度及选择气流速度的因素主要是:

洁净室

洁净室

  (1)室内污染源:建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源,根据具体情况而异,变化很大。

洁净室

洁净室

  (2)洁净车间内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流,而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层。

洁净室

洁净室

  (3)自净时间(恢复时间)的控制要求:洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化,恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度。

  (4)末级过滤器的效率:在一定的室内发尘量下,可采用较高效率的过滤器以降低气流速度。

  (5)经济性考虑:过大的气流速度造成投资及运行费用的增加,合适的气流速度为以上诸因素合理的综合,过大往往不必要,亦不一定有效果。

  一些厂家对洁净度要求相对较低,但是无论如何,洁净室的换气次数还是要根据室内排热情况而定的。