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光学微电子净化工程的简要说明
缩放字号:[小] [大] 发布时间:2013-10-31 15:21

 

  光学微电子净化工程是指特别设计的一种密闭空间,排除此空间内一定范围内空气中的污染物,如微尘粒子、有害空气、细菌等,并控制室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电在某一需求范围内,因此也被称为清净室或无尘室净化工程。目前,在半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业中,光学微电子净化工程已是不可或缺的重要设施。

  近几年来,由于技术的创新发展,迫切要求产品的高精密度化、细小型化,如研究制造超大型积体电路,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。

  光学微电子净化工程一般包括:

  1、 洁净生产区

  2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)

  3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息等)

  4、 设备区(包括无尘室净化工程空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

  光学微电子净化工程净化原理

  气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌

  等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。

  优点:

  A.处理空气的效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低。能比较精确控制送风的温度、湿度;

  B.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;

  C.比较适用于较大的厂房有集中冷源的的厂房;

  D.较低的维修频率;

  E.车间里的噪音小。

  缺点:

  光学微电子净化工程需要有一定的室外空间和有空调机房,用以搭配好的冷冻机房的建设、热泵机组的放置以及组合式空气处理机组的放置。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30┫的机房的;此外,该工程的造价高也是缺点之一。