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洁净车间设计九个主要注意点
缩放字号:[小] [大] 发布时间:2015-07-20 10:23

  洁净车间的温湿度一般是根据工艺要求来进行确定,不但要满足工艺要求,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

洁净车间

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  具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

洁净车间

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  1、洁净车间无尘车间系统

  室内的空气净化系统可分为水平层流,垂直层流和乱流,选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。

洁净车间

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  2、无尘车间洁净度与换气次数

  房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此应该考虑房间的工作性质,以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。

  3、结构

  4、无尘净化车间设计方案

  5、材料

  6、压力和气流

  7、洁净车间辅助设备

  8、人和物的控制

  9、给排水和送风装置及电源

洁净车间

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  洁净车间湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。