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无尘车间等级划分明细
缩放字号:[小] [大] 发布时间:2015-06-15 16:45

  洁净车间是一个统称,其中包括无尘车间、洁净室(Clean Room)以及无尘室,同时无尘车间还分为好几个级别,不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理,可采用亚高效过滤器代替高效过滤器,无尘车间等级分为100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、高效过滤器三级过滤器,中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用,中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段,高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。

洁净车间工程

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  一、LCD生产洁净车间静电库仑力吸上粉尘、污物带给无器件,增大泄漏或造成短路,使性能受损,成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径大于100pm、铝线宽度约10(Vm、氧化膜厚度在50pm时,最易使产品报废;现在线径更细,氧化膜很薄,很小粒径尘粒子就会损害元器件,这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。

洁净车间工程

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  二、静电放电

  1)元器件的绝缘氧化膜被击穿,引线被烧断或线间融断。若人体带上10kV(100PF)的静电荷,触摸器件脚时发生ESD,其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A(10~100s),此时,就连一般的IC、MOS无尘车间等级都会遭受损坏。

洁净车间工程

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  2)洁净车间工程造成噪声、发射电磁波干扰。ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖,信号强,相当与电路中几伏的能量,频率跨越几MHz、甚几百MHz的强大噪声,可能引起元器件损坏,设备和传感器不正常工作,甚至引起设备死机。ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入,或发生锁存现象。如无尘室中,将晶片的EMIF箱放在钢的手推车上,晶片的ESD会通过电感传给手推车,车轮是绝缘的,则EMI的扩散会引起晶片处理机死机。

洁净车间工程

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  3)电击人体。人的ESD或对人的ESD当超过人体电击极限电流5mA以上时,人都会有各种伤害感觉,造成工作人员的情绪不安,以导致操作错误。

  半导体、平面显示器、光电子等洁净室总是会出现一些静电问题,静电问题关系到很多,例如生产安全以及产品的质量,其次还会对成本和效益造成一定影响。